پارامترهای فنی برای اتاق های تمیز نیمه هادی
محدودیت های کلاس، دما، رطوبت و ارتعاش مورد نیاز به گره فرآیند و ابزار بستگی دارد. مهندسان فرآیند و طراحان تاسیسات شما مشخصات نهایی را تعیین می کنند. جدول زیر ارجاعات رایج را برای مناطقی که معمولاً پشتیبانی می کنیم نشان می دهد.
| منطقه | کلاس معمولی | نکات رایج طراحی | مواد معمولی از ما |
|---|---|---|---|
| لیتوگرافی ویفر و فرانت اند (پروژه های تخصصی) | ISO 3-5 | کنترل دقیق دما و رطوبت، کنترل لرزش، فیلتر AMC | با متخصصین فاب هماهنگ کنید |
| تحقیق و توسعه و آزمایشگاه های فرآیندی در مقیاس کوچک | ISO 5-6 | جریان آرام موضعی، سطوح ضد الکتریسیته ساکن | پانل ها، جریان هوای آرام، HEPA |
| مونتاژ، چسباندن و بسته بندی | ISO 6-7 | کنترل ESD، رطوبت محکم | پانل های ضد الکتریسیته ساکن، دوش هوا |
| تست و بازرسی | ISO 7-8 | دمای پایدار، کنترل ESD | پانل ها، درب های فلاش |
| روپوش و قفل هوا | ISO 7-8 | دوش هوا، درهای قفل شده | دوش هوا، جعبه عبور |
| مناطق پشتیبانی | ISO 8 | پاکت اقتصادی | پانل های استاندارد، درب |
محدودیت ذرات در 0.5 میکرومتر بر متر مکعب (ISO 14644-1): ISO 3 اجازه می دهد 35، ISO 4 اجازه می دهد 352، ISO 5 اجازه می دهد تا 3،520، ISO 6 اجازه می دهد 35،200، ISO اجازه می دهد تا 352،000 و ISO 8 اجازه می دهد تا 3،520،000.
- فیلتراسیون: HEPA H14 یا ULPA برای کلاس های تمیزتر رایج است (ULPA U15 تحت EN 1822).
- کنترل ESD: سطوح، کف و ایستگاه های کاری معمولاً با استانداردهای ESD مانند ANSI/ESD S20.20 یا IEC 61340-5-1 طراحی می شوند.
- رطوبت: اغلب در یک محدوده باریک مانند 40 تا 50 درصد RH نگهداری می شود تا نیازهای استاتیک و فرآیند را متعادل کند.
- مواد: الزامات گازهای خروجی کم باید در ابتدا مورد بحث قرار گیرد.
لرزش و چیدمان: ابزارهای حساس ممکن است به طبقات ایزوله یا پایه های جداگانه نیاز داشته باشند که توسط طراح ساختمان اداره می شود. سیستم های دیواری نباید به شدت به پایه های حساس به لرزش متصل شوند، و ما می توانیم جزئیات را طوری تنظیم کنیم که آنها را جدا نگه داریم.
تحویل برون مرزی و پشتیبانی ساخت و ساز محلی
پروژه های نیمه هادی برنامه های سختی دارند زیرا ابزارها گران هستند و منتظر می مانند تا اتاق آماده شود. ما برنامه ریزی حمل و نقل را به طوری که سیستم های دیوار، درها و تجهیزات قبل از شروع نصب ابزار وارد می شوند ، و تاریخ تحویل را برای کل تیم قابل مشاهده نگه می داریم.
- بررسی چیدمان و کلاس: ما کلاس های اتاق، ردپای ابزار، اندازه درب و مسیرهای ابزار را تأیید می کنیم.
- بسته بندی شماره گذاری شده: پانل ها و درها بر اساس اتاق و موقعیت برچسب گذاری می شوند.
- اسناد: لیست بسته بندی، فاکتور تجاری و گواهی مبدا، با شرایط FOB، CFR یا CIF.
- حمل و نقل مرحله ای: محموله ها می توانند مراحل ساخت و ساز را دنبال کنند.
- پشتیبانی نصب: راهنماها، راهنمای ویدیویی یا یک مهندس ناظر.
ساخت و ساز محلی: اتاق های نیمه هادی معمولا توسط پیمانکاران با تجربه اتاق تمیز و با همکاری تیم های HVAC، برق، گاز و آب ساخته می شوند. پاکت باید با شبکه‌های سقفی، دیوارهای برگشتی، کف‌های مرتفع، راه‌های نفوذ ابزار و مسیرهای دسترسی به ابزار . ما اینها را روی نقشه های مغازه علامت گذاری می کنیم و زودتر مجوزها را تأیید می کنیم.
برای ابزارهای حساس، اتاق باید قبل از جابجایی آنها تمیز و آزمایش شود. آزمایش‌های شمارش ذرات، جریان هوا، فشار و نشت فیلتر توسط یک شخص واجد شرایط انجام می‌شود و ما نقشه‌ها و داده‌های اجزا را در صورت درخواست ارائه می‌کنیم.
برای مناطق حساس، ما یک روش ساخت و ساز تمیز را توصیه می کنیم: از سطوح تمام شده محافظت کنید، برش را در داخل اتاق های تمام شده محدود کنید و مراحل را تمیز کنید. حمل و نقل همچنین می تواند به گونه ای زمان بندی شود که اتاق های با کلاس بالاتر ساخته شوند، که خطر آسیب ناشی از سایر تجارت های نزدیک را کاهش می دهد.
ما همچنین توصیه می‌کنیم که تامین‌کنندگان ابزار اندازه‌های درب و بازشو را در مرحله طراحی بررسی کنند، زیرا تعویض قاب درب پس از ساخت هزینه‌بر است.
کنترل کیفیت و صدور گواهینامه
مشتریان نیمه هادی تامین کنندگان را با چک لیست های دقیق حسابرسی می کنند. پانل های دیواری و درب ها دارای گواهینامه "درجه نیمه هادی" نیستند و ما این ادعا را نداریم. ما تولید ثابت، سوابق قابل ردیابی و ارتباطات باز را ارائه می دهیم.
| مرحله کنترل | بازرسی | چرا مهم است |
|---|---|---|
| مواد ورودی | ورق، صورت، هسته، پروفیل، واشر، شیشه | کیفیت شناخته شده |
| تولید پنل | ابعاد، صافی، اتصال، آب بندی لبه | مفاصل سفت و صاف |
| بازرسی سطحی | خراش، حباب، رنگ، قابلیت تمیز کردن | تولید ذرات کم |
| ESD و اتمام چک | بررسی گزینه های آنتی استاتیک در صورت مشخص شدن | کنترل استاتیک |
| درب و تجهیزات | تست عملکرد درها، دوش هوا و جعبه عبور | آماده نصب |
| بسته بندی | تعداد، برچسب ها، شرایط | تحویل کامل |
اسناد موجود: مشخصات مواد، سوابق بازرسی کارخانه، داده های فیلتر و، در صورت وجود، گزارش هایی در مورد آتش سوزی یا عملکرد سطح.
در مواردی که پروژه شما دارای الزامات خاصی است، مانند مقادیر مقاومت سطح، مواد با گاز خروجی کم یا روش‌های آزمایش خاص، لطفا در مرحله نقل قول به ما بگویید . ما بررسی خواهیم کرد که مواد انتخاب شده چه چیزی را پشتیبانی می کنند و به نتایجی که نمی توانیم مستندسازی کنیم قول نمی دهیم. ممیزی کارخانه و تایید نمونه مورد استقبال قرار می گیرد.
مشتریان نیمه هادی معمولاً پرسشنامه های طولانی تامین کننده ارسال می کنند و ممکن است درخواست ممیزی فرآیند کنند. ما صادقانه به آنها پاسخ می دهیم، نمونه پانل ها، اتصالات و واشرها را برای آزمایشات خود به اشتراک می گذاریم و از بازدید از کارخانه خود استقبال می کنیم. سوابق دسته ای برای هر پروژه نگهداری می شود، بنابراین سؤالات بعدی در مورد یک اتاق خاص را می توان به تاریخ تولید و منبع مواد ردیابی کرد.
توصیه می کنیم فهرست اسناد را زودتر به توافق برسانید. اگر پروژه شما به گزارش آزمایشی نیاز دارد که برای مواد استاندارد ما وجود نداشته باشد، ما این را می گوییم و گزینه های جایگزین، مانند آزمایش اضافی توسط یک آزمایشگاه شناخته شده با هزینه شما را مورد بحث قرار می دهیم.
خدمات پس از فروش و قابلیت پاسخگویی
در خطوط نیمه هادی، خرابی بسیار پرهزینه است و حتی یک شکاف کوچک در یک دیوار یا یک درزگیر آسیب دیده می تواند بر عملکرد تأثیر بگذارد. نگه می داریم سوابق کامل پروژه و با قسمت درست و روشی واضح هدفش این باشد که سریع پاسخ دهد.
- ارتباط سریع: سوالات فنی به زبان انگلیسی از طریق ایمیل، تلفن یا پیام پاسخ داده شده است.
- تشخیص از راه دور: عکس‌ها و فیلم‌های کوتاه از اتصالات، واشر، پنجره‌ها و درها به ما کمک می‌کنند مشکلات را ارزیابی کنیم.
- قطعات یدکی: واشر، لولا، درزگیر، دستگیره، پنجره، چراغ و فیلتر HEPA.
- تغییرات خط: دیوارها، درها و دهانه ها را می توان با جابجایی یا تعویض ابزار تغییر داد.
- بازدید مهندس: با هماهنگی
علل معمول مشکلات ذرات یا فشار:
| علامت | علت احتمالی | اقدام پیشنهادی |
|---|---|---|
| تعداد ذرات افزایش می یابد | فیلتر آسیب دیده، سطح فرسوده، نفوذ باز | فیلتر تست نشت، سطوح را بازرسی کنید، دوباره آب بندی کنید |
| افت فشار | سایش واشر، باز نشدن مهر و موم پس از تعویض ابزار | واشر را تعویض کنید، دهانه را دوباره ببندید |
| رویدادهای تخلیه ساکن | سطوح ESD فرسوده یا آلوده | سطوح را تمیز یا تعویض کنید، زمین را بررسی کنید |
ما پیشنهاد می‌کنیم که از مرحله راه‌اندازی یک گزارش آزمایشی پایه داشته باشید، که به مقایسه نتایج بعدا کمک می‌کند.
بسیاری از کارخانه های نیمه هادی تعداد ذرات، فشار و رطوبت را به طور مداوم ثبت می کنند. وقتی روندی تغییر می‌کند، از شما تشویق می‌کنیم که داده‌ها را همراه با تغییرات اخیر در اتاق، مانند ابزارهای جدید، دهانه‌های جدید یا مواد تمیزکننده جدید برای ما ارسال کنید. با نقشه های ذخیره شده و سوابق پروژه، مهندسان ما می توانند دلایل احتمالی و مراحل اصلاحی را پیشنهاد کنند.
قطعات جایگزین مطابق با مشخصات اصلی تولید می شوند، بنابراین ظاهر و عملکرد آب بندی با سیستم موجود مطابقت دارد. برای موارد فوری، سریعترین گزینه حمل و نقل را مورد بحث قرار می دهیم و اسناد را از قبل آماده می کنیم.
ذخیره کمی از واشرها، درزگیرها و فیلترها در سایت راهی معقول برای جلوگیری از تاخیرهای طولانی است.
شرایط تجاری، گارانتی و هزینه چرخه عمر
برای مشتریان نیمه هادی، هزینه پاکت اتاق تمیز در مقایسه با هزینه ابزار و تولید از دست رفته اندک است. بنابراین مفیدترین مقایسه، ریسک کل و خرابی است، نه تنها قیمت واحد. ما در مورد آنچه که پاکت ما می تواند و نمی تواند انجام دهد باز است.
| مورد | رویکرد ما |
|---|---|
| نقل قول | موردized by room and component, with drawings |
| شرایط تجارت | FOB، CFR یا CIF، تعریف شده در نقل قول |
| پرداخت | معمولاً سپرده با موجودی قبل از حمل و نقل یا در مقابل اسناد. شرایط نهایی در قرارداد |
| گارانتی | تعریف شده توسط گروه جزء در قرارداد |
| زمان سرب | پس از تایید قرعه کشی داده می شود |
| سفارشی سازی | اندازه، ضخامت، رنگ، گزینه های ESD، طرح درب |
ملاحظات هزینه:
- کلاس: هر قدم به سمت یک کلاس تمیزتر باعث افزایش عرضه هوا، فیلتراسیون و کیفیت ساخت می شود.
- کنترل ESD: سطوح ضد الکتریسیته ساکن هزینه بیشتری دارند اما از آسیب به دستگاه های حساس جلوگیری می کنند.
- هوابندی: انرژی فن و خنک کننده را کاهش می دهد.
- مدولاریت: به خطوط تولید اجازه جابجایی یا گسترش می دهد.
ابزارهای فرآیند، تهویه مطبوع، آب فوق خالص، سیستم های گاز، نظارت و مجوزها خارج از عرضه ما هستند. استثنائات گارانتی به وضوح در قرارداد ذکر شده است.
هنگامی که تامین کنندگان را با هم مقایسه می کنید، از هر کدام بخواهید که محدوده، مواد و مواردی را که مستثنی شده اند، مانند شبکه های سقفی، کف های بلند، دیوارهای برگشتی و دهانه های مخصوص ابزار، به وضوح بیان کنند. ما یک لیست جزئی ارائه می کنیم که مقایسه را ساده می کند.
اگر بودجه شما محدود است، می‌توانیم مشخصات جایگزین را پیشنهاد کنیم، به عنوان مثال یک پاکت با درجه بالاتر برای منطقه ISO 5 یا 6 و یک پاکت اقتصادی برای اتاق‌های پشتیبانی. ما ترجیح می دهیم به شما کمک کنیم تا طرح را با نیاز واقعی مطابقت دهید تا اینکه بیش از آنچه نیاز دارید بفروشید.
استحکام واقعی کارخانه برای پروژه های مرتبط با نیمه هادی ها
خریداران الکترونیک و نیمه هادی ها خواهان عرضه پایدار و ارتباط سریع هستند. Pharma United Co., Ltd. که در سال 2006 تأسیس شد، اداره می شود دو کارخانه در کونشان و کیان جیانگ با مساحت 20000 متر مربع ، با بیش از 60 پرسنل. ما یک تولید کننده هستیم نه یک شرکت تجاری.
| شاخص | اطلاعات |
|---|---|
| تجربه کنید | 20 سال در مهندسی اتاق تمیز |
| پانل های اتاق تمیز HPL | حدود 250000 متر مربع در سال. بزرگترین تولید کننده پانل اتاق تمیز HPL در چین |
| محموله های کانتینری | بیش از 1000 ظروف مکعبی بلند چهل فوت در سال |
| مکان | کونشان، در حدود 30 کیلومتری شانگهای |
| محدوده محصول | پانل ها، درها و پنجره ها، تجهیزات، POD های مدولار، محصولات HEPA |
| خدمات | پشتیبانی طراحی، ساخت و نصب |
چرا این به خریداران در زنجیره نیمه هادی کمک می کند: Kunshan بخشی از منطقه صنعت الکترونیک دلتای رودخانه یانگ تسه است و کارخانه ما نزدیک بندر شانگهای است. خروجی پانل ما از اتاق های بزرگ با پوشش یکنواخت پشتیبانی می کند درها، پنجره ها و تجهیزات با پانل ها مطابقت دارند .
ما در مورد دامنه باز هستیم: برای کارخانه های پیشرفته و سیستم های تخصصی، ما با متخصصان دیگر کار می کنیم. نمونه ها، مراجع، بازدید از کارخانه و تورهای ویدئویی در صورت درخواست در دسترس هستند.
مهندسان ما مستقیماً به سؤالات فنی پاسخ می دهند، که باعث می شود تصمیمات حرکت کنند.
طراحان ما طرح‌بندی‌ها و نقشه‌ها را آماده می‌کنند، مهندسان ما جزئیات و رابط‌های آب‌بندی را با سایر مشاغل بررسی می‌کنند، و تیم‌های تولید ما خطوط اختصاصی را برای پانل‌ها، درها و تجهیزات اجرا می‌کنند. هماهنگ کننده های صادرات بسته بندی و اسناد را انجام می دهند.
مشتریان در الکترونیک و صنایع مرتبط برای توسعه و قطعات یدکی باز می گردند. عکس‌ها و فیلم‌های اتاق‌های تکمیل‌شده را می‌توان در صورت درخواست به اشتراک گذاشت، و بازدید از کارخانه ما با هماهنگی امکان پذیر است.
سؤالات متداول در مورد لوازم نظافت نیمه هادی Fab
Q1. آیا می توانید یک ویفر فاب کامل بسازید؟
خیر. کارخانه های پیشرفته نیاز به سیستم های یکپارچه تخصصی دارند. ما قطعات پاکت، درها، پنجره ها، دوش هوا، جعبه های عبور، جریان هوای لامینار و قطعات HEPA را برای مناطق مناسب مانند بسته بندی، آزمایش، تحقیق و توسعه و اتاق های پشتیبانی عرضه می کنیم.
Q2. کدام کلاس های ISO در نیمه هادی ها معمولی هستند؟
لیتوگرافی جلویی و مراحل بحرانی اغلب ISO 3 تا 5 هستند، در حالی که مونتاژ، بسته بندی و آزمایش معمولا ISO 6 تا 8 هستند.
Q3. آیا پنل های ایمن ESD ارائه می دهید؟
ما می توانیم گزینه های ضد الکتریسیته ساکن را عرضه کنیم. مقادیر مقاومت سطحی و روش‌های آزمایش باید در مشخصات شما ذکر شود و ما بررسی می‌کنیم که ماده انتخابی چه چیزی را پشتیبانی می‌کند.
Q4. آیا پانل های شما "درجه نیمه هادی" هستند؟
هیچ محصول ساختمانی چنین گواهینامه ای ندارد. ما سطوح صاف و مهر و موم شده و سوابقی را ارائه می دهیم که از صلاحیت شما پشتیبانی می کند.
Q5. در مورد آلودگی مولکولی موجود در هوا چطور؟
کنترل AMC بر فیلتراسیون شیمیایی و انتخاب مواد متکی است. لطفاً محدودیت‌ها را زودتر با ما در میان بگذارید، و ما مناسب بودن مواد را بررسی خواهیم کرد.
Q6. آیا POD های مدولار می توانند به عنوان خطوط پایلوت عمل کنند؟
بله، برای تولید کوچک یا تحقیق و توسعه زمانی که نیازهای کلاس و ابزار مناسب باشد.
Q7. چگونه می توانم یک نقل قول دریافت کنم؟
کلاس هدف، طرح بندی، نوع فرآیند و کشور مقصد خود را ارسال کنید.
Q8. آیا می توانید سقف های FFU را تامین کنید؟
عرضه ما بر روی پانل‌ها، درها، پنجره‌ها، دوش‌های هوا، جعبه‌های عبور، جریان هوای آرام، فیلترهای هپا و جعبه‌های تامین هپا متمرکز است. برای سیستم های واحد فیلتر فن یا شبکه های سقف کامل، لطفاً مشخصات را به اشتراک بگذارید و ما آنچه را که می توانیم ارائه دهیم تأیید خواهیم کرد.
Q9. آیا می توانید پانل های نمونه را تهیه کنید؟
بله، نمونه ها را می توان برای آزمایش های خود ارسال کرد.
